TRUFLOUREZ-T95（超高纯度等级）

•硬度（ Shore A ）为60度

•耐温性能：-5 ℃～300 ℃

•耐介质性能：优异的耐腐蚀性，能够在、Plasma等苛刻的环境中保持橡胶的弹性，最高可在300度的温度下保持密封性能刻蚀

•应用于PVD、CVD、ETCH、 Chamber等工艺制程

•推荐用于半导体制程，超高洁净度的腔体内